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CN/ EN

方案概述

單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備

禾川方案

方案特色

  • 視覺定位

    視覺定位,進行檢測偏差,補償給控制系統(tǒng)
  • 高重合精度

    高精度,高響應(yīng)定位,控制伺服驅(qū)動
  • 高像素相機

    視覺實時測量晶棒生長尺寸
  • 高速處理數(shù)據(jù)

    高速PLC 承載著整個系統(tǒng)的運算及執(zhí)行